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VSParticle 納米印刷沉積系統(tǒng)

更新時間:2023-11-17
產品型號:VSP-P1
所屬分類:納米印刷沉積系統(tǒng)
描述:納米印刷是柔性電子領域重要的區(qū)域性沉積技術, VSP-P1 采用特別的氣溶膠沖壓沉積技術,將原材料通過火花燒蝕的方式轉變成納米級氣溶膠顆粒,并在真空系統(tǒng)配合下實現(xiàn)圖案的繪制。該方法避免了傳統(tǒng)噴墨打印需要導電油墨以及后續(xù)熱處理去除油墨的弊端,保證圖案的納米結構較大程度的保留,避免產生氣孔等缺陷。
詳情介紹

氣溶膠納米噴印


納米印刷是柔性電子領域重要的區(qū)域性沉積技術, VSP-P1 采用特別的氣溶膠沖壓沉積技術,將原材料通過火花燒蝕的方式轉變成納米級氣溶膠顆粒,并在真空系統(tǒng)配合下實現(xiàn)圖案的繪制。該方法避免了傳統(tǒng)噴墨打印需要導電油墨以及后續(xù)熱處理去除油墨的弊端,保證圖案的納米結構較大程度的保留,避免產生氣孔等缺陷。

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運行原理


氣溶膠顆粒會通過火花燒蝕的方式在前端產生,顆粒經由惰性氣體帶動運輸至噴嘴處,經過真空系統(tǒng)作用,腔室的氣壓會保持在 10mbar 以下,而經由噴嘴噴出的氣溶膠會在基底表面沖壓沉積。而利用 XYZ 軸控制噴嘴的移動,即可實現(xiàn)圖案的繪制。


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利用該方法,可輕松實現(xiàn):


1.  金屬,合金,氧化物顆粒的印刷沉積

2.  無添加劑,無廢液

3.  一步沉積,設備模塊化,前端的氣溶膠發(fā)生器可獨立拆卸工作,進行其它方向的納米研究

4.  顆粒初始粒徑可保持在 0-20nm 之間,形成多孔結構


應用領域


· 高通量合金催化劑的篩選


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利用氣溶膠噴印在多個通道打印沉積比例不同的合金催化劑,從而快速考查電催化性能。該方法可用于在工業(yè)相關電流密度下的流體力學條件下制備和篩選電極材料,可用于確定最佳催化劑和催化劑制備的穩(wěn)健性。Ni / Fe 的復合電極被用于進行驗證,64 個不同比例的催化陽極電極在快速篩選后可得到反應電位的變化。


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SERS


表面增強拉曼光譜需要精細的 Au, Ag 等納米結構,從而實現(xiàn)對低信號量化學物質的靈敏檢測。利用氣溶膠噴印技術在基底表面快速繪制納米圖案,進行拉曼光譜檢測。這種方法避免添加劑對檢測的干擾,在較低的溫度處理后便可進行后續(xù)檢測。


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納米印刷結構


在對羅丹明 6G,PMBA,三聚氰胺的檢測中,標準基片表現(xiàn)出了優(yōu)異的信號增強性能。


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氣體傳感器


金屬氧化物 (MOX) 氣體傳感器通過半導體金屬氧化物薄膜的電阻變化來檢測氣體,但氧化物涂層需要溫和的沉積,故而常用的 PVD 與 CVD 手段均不適用。現(xiàn)有方法為利用溶膠凝膠法結合絲網印刷實現(xiàn)區(qū)域的沉積。利用氣溶膠噴印直寫可以實現(xiàn)精準的印刷沉積,避免熱處理。


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