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臺式掃描電鏡飛納的發展史

 更新時間:2022-10-14 點擊量:1486
 臺式掃描電鏡飛納的發展史
1948
飛納電鏡源自飛利浦電子光學部分,1948 年,D 一臺飛利浦實驗室研發的透射電鏡 (400kV!)。
1949
飛納電鏡源自飛利浦電子光學部門,1949 年,D 一臺商業化的電鏡 EM100 在 PHILIPS 實驗室制造完成。
 
1997 年美國 FEI 公司收購飛利浦電鏡部; FEI 和飛利浦電子光學宣布合并其業務,FEI 公司在掃描電鏡行業處于**地位,其產品代表X進的電鏡技術。
2006 FEI 成立 Phenom World 公司,發布D 一臺臺式掃描電子顯微鏡飛納 Phenom G1,放大倍數 10,000 倍,使用高亮度 CeB6 燈絲;
2012 年 3 月,Karel.Mast 教授帶領原飛利浦電鏡部門精英研發出S臺電鏡能譜一體機,開創電鏡能譜設計新理念,兩年銷量 790 臺;同時推出粗糙度測量等功能性軟件;
2013 年 Phenom-World 公司推出第 3 代飛納臺式掃描電鏡產品,第 3 代飛納臺式掃描電鏡主要優勢在于分辨率由一代的 30 nm 提高到了 17 nm,放大倍數由 20,000 X 提高到 100,000 X,臺式掃描電鏡分辨能力從此可與大型鎢燈絲電鏡媲美, 結合飛納臺式掃描電鏡 15 秒快速抽真空,不導電樣品無需噴金等;
2014 年 9 月,Phenom-World 公司共計推出 4 代產品,其中飛納電鏡能譜一體機 Phenom ProX 系統S 次將能譜和電鏡集成在一起,通過一個軟硬件系統控制,將能譜的操作難度顯著降低,飛納電鏡能譜一體機 Phenom ProX 開創了電鏡能譜領域的新概念,兩年時間內增加了 1100 名用戶。
2015 年 3 月 22 日,Phenom World 公司推出第 5 代產品,分辨率達到 14 納米,放大倍數 13 萬倍;同年,PW 推出了世界S 臺熒光電鏡一體機 Delphi,將光電關聯電鏡技術發展成為臺式設計;
2019 年,飛納臺式場發射掃描電鏡橫空出世,在同樣體積的前提下將分辨率提升到了 2 nm,同時標配了背散射以及能譜探頭(選配二次電子探頭)。
 
那么我們不禁會問,提升分辨率的好處顯而易見,那么將掃描電鏡做到如此小的尺寸能夠帶來哪些好處呢?
 
節省空間,降低實驗室成本
落地式電鏡一般都需要單獨的房間安置,面積基本上為 20 平米起步,而且需要安裝在震動較小的樓層,如果環境震動超標還需要購置防震臺。相比之下,飛納臺式電鏡的要求就沒有那么嚴苛了,只需要一個不足 1 平米的桌子,并且不需要購買防震臺。因此,臺式電鏡可以節約大量的空間成本。
 
管理輕松,降低人力成本
落地式電鏡往往需要專業人員管理,平均兩周更換一根燈絲,同時需要清理陽極、光闌等配件,平時還需要購買惰性氣體和液氮,每年還需定期維護保養。
 
而飛納臺式掃描電鏡就非常任性了,從設計上就摒除了上述繁雜的操作,它不需要專業人員管理,不需要液氮和惰性氣體,不需要清理陽極和光闌,只需2-3年(視具體情況而定)更換一次燈絲以及做一次維護即可。

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